微細加工

人材育成のためのMEMS集中コースin つくば(MEMS集中講義)-TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2013-

人材育成のためのMEMS集中コースin つくば(MEMS集中講義)-TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2013-開催致しました。 つくばにおいて、「人材育成のためのMEMS集中コース」(MEMS集中講義)を 人材育成のためのMEMS集中コースin つくば(MEMS集中講義)-TIA連携大学院サマー・オープン・フェスティバル2013-

MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」 

リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。  この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」 

異分野による融合研究

従来型水素センサには結露水滴により誤動作するという問題がありました。これに対しセンサ表面に連続的な親/疎水性の傾斜組成膜を形成し、膜上に結露した水滴の両端の接触角の差異から生じる駆動力を利用して水滴を周囲へと排除する方法 異分野による融合研究