料金表

設備ならびに装置の利用料金は各実施部局の規定で定められています。また下記の料金は (i) 文科省ARIM事業（設備利用+データ提供、設備利用のみ）、(ii) 東北大学自主事業としての非公開事業に大きく分かれます。

■微細構造解析（分析・計測分野）
金属材料研究所材料分析研究コア/先端電子顕微鏡センター/理学研究科

■微細加工（加工・デバイスプロセス分野）
試作コインランドリ(MEMS)

微細構造解析（金属材料研究所　材料分析研究コア）
■技術支援（公開：3,300円/時間　非公開：8,690円/時間）
■試料作製準備室使用料（公開：880円/4時間　非公開：2,640円/4時間）
■FIB試料用Moグリッド(Cuより差額) （1,320円/1個）
■FIB試料用Siグリッド　ナノメッシュ(Cuより差額) （2,640円/1個）
利用料【円/日(8時間)】
装置名
〈　*〉はARIM事業装置ID		ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
超高分解能透過電子顕微鏡 (JEM-ARM200F) 〈TU-504*〉34,32034,320169,840
分析電子顕微鏡 (EM-002B) 〈TU-516*〉 24,640 24,64051,920
透過電子顕微鏡 (JEM-2000EXII)〈TU-517*〉16,72016,72034,320
集束イオンビーム加工装置 (Quanta 3D)〈TU-507*〉26,40026,40055,440
集束イオンビーム加工装置 (Versa 3D)〈TU-508*〉45,76045,76093,280
集束イオンビーム加工装置 技術代行適応料金36,08036,08074,360
薄膜断面試料作製装置 (EM-09100IS)〈TU-518*〉17,60017,60032,560
イオンミリング装置 (PIPSⅡ)〈TU-510*〉9,6809,68022,880
イオンミリング装置 (Model1010)〈TU-511*〉3,5203,52013,200
熱分析装置 (Thermo plus EVO Ⅱ) 〈TU-514*〉6,1606,16014,080
高出力全自動水平型多目的X線回折装置
(SmartLab 9SW)〈TU-515*〉		9,6809,68034,320

※使用料においては分析研究コアの利用規程に従います。
　上記は1日あたり（8時間）の料金ですが、時間単位でも使用可能です。
※初習者の単独使用はできません。観察代行・もしくは立会観察をご依頼ください。
※薄膜断面試料作製装置の料金は、前処理（予備加工）済みの試料を持込、当室でイオン研磨加工のみを行った場合の料金になります。
※表示は税込み価格です。【2022/7/1更新】

微細構造解析（先端電子顕微鏡センター）
■技術支援 （3,300円/時間） ※公開・非公開同料金
■解析支援 （3,300円/時間）
■試料作製準備室使用料 （330円/時間）
利用料【円/日(8時間)】
装置名ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
走査型電子顕微鏡(SU8000,S-5500)14,08014,08072,160
高性能分析電顕(Titan80-300 結像系収差補正)36,08036,080106,480
プローブコレクター透過電顕(FEI-Titan G2-cubed)46,64046,640121,440
ダブルコレクター透過電顕(FEI-Titan G2-cubed)50,160 50,160 125,860

※使用料においては先端電子顕微鏡センターの利用規程に従います。使用単位は（1日あたり）8時間です。
※技術支援、解析支援については都度見積・相談によります。
※表示は税込み価格です。

微細構造解析（理学研究科附属巨大分子解析研究センター）
利用料【円/時間】
装置ARIM事業
（設備利用+データ提供）		ARIM事業
（設備利用）		成果非公開
核磁気共鳴装置（800MHz　NMR JNM-ECA 800）5,2005,20032,100
ICP発光分光分析装置（ICPE-9000）3,2003,2004,600

※利用形態は技術代行のみです。
※消耗品はご利用者様にご用意して頂きます。
※表示は税抜価格です。

微細加工(MEMS 試作コインランドリ)
ARIM事業利用の場合 ■技術支援料 3,300円/時間　■施設使用料　480円/時間（学内は310円/時間）
非公開利用の場合 ■技術支援料 6,514円/時間　■施設使用料　480円/時間（学内は310円/時間）
装置一覧及び料金表ダウンロード　（こちら）　　※2022/12/1更新