これまでの支援実績（ユーザーの利用報告書）
年度毎にご提出頂いていてる利用報告書は、各プラットフォームの代表機関で公開されています。パスワード等の発行が必要なので、お手続きの上ご覧ください。
◎微細構造解析PF ◎微細加工PF ◎分子・物質合成PF（平成29年度まで）
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CINTS News Letter
2026年1月28日、東京ビッグサイトで開催された nano tech 2026（第25回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議） において、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM: Advanced Research Infrastructure for Material and Nanotechnology）令和7年度「秀でた利用成果」表彰式が行われ、東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センターの矢代航教授、梁 暁宇助教、および、上田亮介講師の御利用課題「サブミリ秒X線トモグラフィのためのX線光学素子の開発」が、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞されました。 本課題において、ナノテク融合技術支援センター：微細加工（試作コインラインドリ）は、フォトリソグラフィ、および、Si Deep-RIE加工を支援致しました。 ■令和7年度「秀でた利用成果」優秀賞受賞課題はこちら 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞し、「第18回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2019、場所：東京ビッグサイ ト）」において、平成31年1月30日、授賞式が行われました。 受賞対象の成果は、浜松ホトニクス株式会社 杉山厚志氏、大河原悟氏による「広帯 域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発」であり、高速で広帯域の波長掃引を 実現するための回転振動型MEMS回折格子の開発を、本学ナノテク融合技術支援セン ター微細加工プラットフォーム（実施場所：西澤潤一記念研究センター内 試作コイ ンランドリ）において支援しました。小型、高速、広帯域の波長掃引型レーザ光源が 初めて製品化されており、従来の大型で高価、高性能なフーリエ変換赤外分光計 （FT-IR）に代わる小型で高速な赤外分光計測の光源としての応用が期待されます。 （詳細URL） ◎国立研究開発法人物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター プレスリリース ◎波長掃引パルス量子カスケードレーザの詳細 浜松ホトニクス株式会社 製品・技術ハイライト （問合せ先） 平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、CINTSスタッフの森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。 東北大学ナノテク融合技術支援センター 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター Http://Www.Mu-Sic.Tohoku.Ac.Jp/ この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた利用６大成果」の最優秀賞を受賞しました。 リオン㈱が東北大学で試作したMEMSエレクトレットマイクロホンチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」が、NHK放送技術研究所の「技研公開2013」（2013年5月30日～6月2日）にて一般公開されました。 ●参考URL リオン㈱プレスリリース こちら ●NHK放送技術研究所「技研公開」2013 展示項目32 NHK技術の活用と実用化開発の紹介 こちら 東工大蔵前会館1階くらまえホールにて、成果報告会が開催されました。たくさんの御来場誠にありがとうございました。 「ナノテクノロジープラットフォーム」（文部科学省委託事業）は、ナノテクノロジーに関わる３つの技術領域（微細構造解析、超微細加工、分子・物質合成）、並びに全体の調整・推進を担うセンター機関の全国25機関、39組織がネットワークを組み、産学官の研究者に最先端設備の利用機会と高度な技術支援を行うとともに、我が国のイノベーション創出に貢献することを目的としています。 このたび本事業は2年目を迎え、ユーザとの交流の場として成果報告会を開催することにいたしました。 本報告会では、傑出した施設利用成果と実用面での展開、ならびに参加機関の役割と機器の共用利用がもたらす様々な効果を紹介することにより、本事業についての理解を深め、またユーザーの立場からニーズや要望等情報交換の場となることを目指します。 ●場所：東工大蔵前会館1階くらまえホール、ロイアルブルーホール Http://Www.Somuka.Titech.Ac.Jp/Ttf/Access/Index.Html 参画25機関 開催概要は 月起源の隕石中に高圧シリカ鉱物を発見!!世界で初めて、月起源の物質にコーサイト、スチショバイト、石英が共存することを明らかにしました。 この研究成果は、米国科学アカデミー紀要(Proceedings For National Academy Of Science)の12 月27 日号に発表されました。そして、この号の論文中で最も注目される研究の一つとして、研究ハイライトに取り上げられました。詳細は東北大学のホームページでも紹介されています。 希土類-有機物-遷移金属の複合分子磁石の開発の鍵となる磁気結合力の正しい値を得ることに成功し、高性能の分子磁石の指針となることを明らかにしたことから、 分子磁石の開発に大きな進展が期待されています。 最先端装置「高周波ＥＳＲ装置」を利用する事で得た研究成果の論文がISI社の高引用頻度論文としても注目されています。 （極限環境分野） 従来型水素センサには結露水滴により誤動作するという問題がありました。 MEMSパッケージングのキー技術となりうる陽極接合できるLTCC基板の開発で、N社に対し 技術相談、評価実験から応用展開まで総合的に支援 を行いました。 文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業 ナノテクノロジー・ネットワークH21年成果報告会 「ナノテクノロジー・ネットワーク」は文部科学省の委託事業で、日本のナノテクノロジー先端研究拠点として選ばれた１３拠点の参加２６機関が連携し、各機関のナノテク関係先端機器を共用化し、イノベーション創出に資することを目的としています。 ●日時:平成21年11月17(15:30～)-18日 詳細はこちらへ【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました
https://nanonet.go.jp/page/page000998.htmlナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成30年度「秀でた利用成果」の詳細
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 支援室
電話 022-229-4113 E-mail micro-shien*grp.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてください）
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
本賞は、秀でた技術を有し、本事業への多大な貢献が認められた実施担当者に対して授与されるものです。本年度に創設され森山助手が初めての受賞者となりました。受賞の対象となった技術は、MEMSなどの微小デバイスの製作に欠かすことのできない、「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」であり、この3年間で学内外の600件以上の利用を支援しています。
多くの皆様にご利用いただいた成果でもあり、感謝申し上げます。今後も皆様に喜んでもらえるよう、 森山助手をはじめスタッフ一同取り組みますので、どうぞよろしくお願いいたします。【問合せ先】
●事業に関すること
電話 022-217-6037E-Mail Cintsoffice@Rpip.Tohoku.Ac.Jp●技術に関すること
電話 022-229-4113
MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。
MEMSエレクトレットマイクロホンチップは次世代の高性能超小型マイクロホンの主部部材として期待されており、今回、文部科学省ナノテクノロジープラットフォームの支援を受けて東北大学の設備を用いて試作されたもので、東北大学がこれまで蓄積してきた微細加工技術が活用されています。
今回開発したMEMSエレクトレットマイクロホンは、従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンに比べ、熱や湿度に強い耐環境性能を備え、MEMSプロセスによる製造方法から高精度な設計が可能となり、低ノイズで周波数特性の揃った高性能マイクロホンを低コストで生産することが可能となります。放送用、補聴器用のほか、環境センシングや身体のモニタリングへの応用も期待されます。平成２４年度ナノテクプラットフォーム成果報告会
平成２４年度ナノテクプラットフォーム成果報告会が開催されました。
●日時:平成２５年１０月１７日(木） １３：００～１９：００
（〒152－0033 目黒区大岡山2丁目12－1 東工大蔵前会館） （入場無料）
北海道大学、千歳科学技術大学、東北大学、物質・材料研究機構、産業技術総合研究所、筑波大学、科学技術振興機構、東京大学、早稲田大学、東京工業大学、信州大学、北陸先端科学技術大学院大学、自然科学研究機構分子科学研究所、名古屋大学、名古屋工業大学、豊田工業大学、京都大学、奈良先端科学技術大学院大学、大阪大学、日本原子力研究開発機構、香川大学、広島大学、山口大学、北九州産業学術振興機構、九州大学こちら ポスタープログラムはこちら
次世代電子顕微鏡技術を用いたナノ構造解析支援
分子磁石の磁気結合力の希土類イオン依存性と化学的な傾向が明快に示されました。
（※この成果はナノネット5大成果に選出され、Nano Tech 2010で展示発表しました） 異分野による融合研究
これに対しセンサ表面に連続的な親／疎水性の傾斜組成膜を形成し、膜上に結露した水滴の両端の接触角の差異から生じる駆動力を利用して水滴を周囲へと排除する方法が超微細加工分野の田中准教授によって考案され、親／疎水性を光によって、制御可能なマラカイトグリーンカルビノールベースの合成を行いました。技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
この成果をもとに、１４社が参加する分野融合型大型研究プログラムへの参加に発展させ、実用化を達成しました。 この技術は既に多くの企業に注目頂いています。（微細加工分野）平成21年度成果報告会
平成21年度成果報告会を開催致しました。
本事業は3年目を迎え、ユーザとの交流の場として成果報告会を北海道拠点において開催することにいたしました。 本報告会では、傑出した利用成果と今後予想される実用面での展開、ならびに参加機関の役割と機器の共同利用がもたらす様々な効果を紹介することにより、事業についての理解を深め、また、ユーザの立場からニーズや要望を発信していただく場となることを目指します。
●場所:北海道大学学術交流会館
●主催:文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業ナノテクノロジー・ネットワーク
後援:千歳市、北海道経済産業局、北海道工業試験場、北海道光科学技術研究会、ホトニクスワールドコンソーシアム
●参加費:無料（交流会参加は有料：2,000円）
●お問い合わせ:北海道大学事務局 nanonet@es.hokudai.ac.jp