微細加工

利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）

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ナノテク融合技術支援センターでは、2026年6月末付で利用細則および東北大学ARIMデータ登録約款を改正し、2026年7月1日より施行しました。 あわせて、ARIM半導体基盤プラットフォームにおける回路技術支援に関する支 … 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）

【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました

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2026年1月28日、東京ビッグサイトで開催された nano tech 2026（第25回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議） において、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM: Advanced Res … 【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました

2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ

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試作コインランドリが再稼働しました。 ※機器利用される方へお願い※西澤センターにおける新型コロナウイルス感染症防止対策をご確認、遵守いただき、感染症拡大防止にご協力をお願いいたします。 学外の方、県外に在住の方は、お手数 … 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ

東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について

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ナノテク融合技術支援センターの装置を利用される東北大学若手研究者は、本学の支援制度をご利用になれます。対象となるのは微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センターならびに金研分析コア分析電顕室）・微細加工分野（試作コインランド … 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について

ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。

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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受 … ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。