お知らせ（微細加工）

利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）

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ナノテク融合技術支援センターでは、2026年6月末付で利用細則および東北大学ARIMデータ登録約款を改正し、2026年7月1日より施行しました。 あわせて、ARIM半導体基盤プラットフォームにおける回路技術支援に関する支 … 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）

2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ

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試作コインランドリが再稼働しました。 ※機器利用される方へお願い※西澤センターにおける新型コロナウイルス感染症防止対策をご確認、遵守いただき、感染症拡大防止にご協力をお願いいたします。 学外の方、県外に在住の方は、お手数 … 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ

東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について

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ナノテク融合技術支援センターの装置を利用される東北大学若手研究者は、本学の支援制度をご利用になれます。対象となるのは微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センターならびに金研分析コア分析電顕室）・微細加工分野（試作コインランド … 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について

ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。

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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受 … ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。

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　平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、CINTSスタッフの森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、 … 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。

MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」　

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リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。　 この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた … MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」　

マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!

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子供たちの夢を宇宙へ 衛星最上部に載せられたプレートの子供達のメッセージは、当センター微細加工分野によるマイクロエッチング加工技術によって刻みこまれました。詳細は東北大学のSPRITE-SATの特集ページをご覧ください。 … マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!