【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました
2026年1月28日、東京ビッグサイトで開催された nano tech 2026（第25回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議） において、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM: Advanced Res … 【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました
事例（微細加工）
ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受 … ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、CINTSスタッフの森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、 … 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。 この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた … MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
異分野による融合研究
従来型水素センサには結露水滴により誤動作するという問題がありました。これに対しセンサ表面に連続的な親／疎水性の傾斜組成膜を形成し、膜上に結露した水滴の両端の接触角の差異から生じる駆動力を利用して水滴を周囲へと排除する方法 … 異分野による融合研究
技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
MEMSパッケージングのキー技術となりうる陽極接合できるLTCC基板の開発で、N社に対し 技術相談、評価実験から応用展開まで総合的に支援 を行いました。この成果をもとに、１４社が参加する分野融合型大型研究プログラムへの参 … 技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!
子供たちの夢を宇宙へ 衛星最上部に載せられたプレートの子供達のメッセージは、当センター微細加工分野によるマイクロエッチング加工技術によって刻みこまれました。詳細は東北大学のSPRITE-SATの特集ページをご覧ください。 … マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!