技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
MEMSパッケージングのキー技術となりうる陽極接合できるLTCC基板の開発で、N社に対し 技術相談、評価実験から応用展開まで総合的に支援 を行いました。この成果をもとに、１４社が参加する分野融合型大型研究プログラムへの参 … 技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援
事例（微細加工）
マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!
子供たちの夢を宇宙へ 衛星最上部に載せられたプレートの子供達のメッセージは、当センター微細加工分野によるマイクロエッチング加工技術によって刻みこまれました。詳細は東北大学のSPRITE-SATの特集ページをご覧ください。 … マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!
MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。 この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた … MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」
