イベント情報（微細加工）

「H21 MEMS集中講義 in 名古屋」を開催しました。 MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションへの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できる絶好の機会でした。 　また、８月5日（水）講義終了 … H21 MEMS集中講義 in 名古屋

電子線描画リソグラフィスクールを開催しました。 本スクールでは、電子線描画リソグラフィ技術およびフォトリソグラフィに関する講義4コマを行いました。また希望者に対して、電子線描画リソグラフィに関する実習を実施しました。 ● … 電子線描画リソグラフィスクール

「仙台から広がるマイクロシステムの国際ネットワーク，新しい研究開発モデル，そしてビジネス」セミナーを開催しました。 ●日時 ：平成21年4月1日　13:00-17:00●場所：東北大学マイクロナノマシニング研究教育センタ … 「仙台から広がるマイクロシステムの国際ネットワーク，新しい研究開発モデル，そしてビジネス」セミナー

MEMSパークコンソーシアム公開セミナーを開催しました。 ●日時：２００８年５月１３日（火）　１３：００～１６：００ ●場所：東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センタ●講演会：「医療、診断システムとMEMS技術」● … MEMSパークコンソーシアム公開セミナー