【CINTS】Center for Integrated NanoTechnology Support

プラットフォーム

実施部局

支援内容

【代表者】今野豊彦

・金属材料研究所 教授
・微細構造解析プラットフォーム業務主任者

●金属材料研究所

●研究推進・支援機構 先端電子顕微鏡センター

●分析コア

●理学研究科附属巨大分子解析研究センター

次世代電子顕微鏡等を用いたナノテクを支える物質群の組織と構造の原子レベルでの評価に基づく解析支援と生産・研究分野へのフィードバック。
また、機能性分子の合成と半導体研究への展開や、超高磁場NMRやICPなどの最新分析技術による各種材料の解析など、合成‐解析‐評価を有機的に結びつけた効率的なナノテクノロジー支援。

【支援例】
・組織と結晶構造、欠陥構造，界面構造の解析支援

・ 電子顕微鏡(TEM,SEM)、薄片試料作成装置(イオンミリング、FIB)、画像処理設備等の利用者への解放

・電子顕微鏡観察、データ解析、像シミュレーション等に関する技術支援 と研究支援

・ナノテク研究に必要な有機化合物の受託合成による提供 ・構造不明の有機化合物のスペクトルデータの提供

【微細加工プラットフォーム】

●マイクロシステム融合研究開発センター試作コインランドリ

MEMS、半導体（微細加工）に関する施設・装置群とノウハウの提供及びそれに伴う支援。

【支援例】
・レジストスピンナと露光装置を使い、フォトリソグラフィを用いた微細加工が可。（加工対象はSi基板や各種金属薄膜を含む）

・スパッタ装置、RIE装置による金属、酸化物のスパッタ成膜とエッチングが可能。

・MEMS技術特有の結晶異方性アルカリエッチングも使用可能。