お知らせ（微細加工） | 東北大学ナノテク融合技術支援センター　Center for Integrated Nano Technology Support (CINTS) https://www.cints.tohoku.ac.jp 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）　ハブ機関 Fri, 21 Aug 2026 07:05:08 +0000 ja hourly 1 https://wordpress.org/?v=7.1.3 https://www.cints.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2021/11/cropped-CNTS-32x32.png お知らせ（微細加工） | 東北大学ナノテク融合技術支援センター　Center for Integrated Nano Technology Support (CINTS) https://www.cints.tohoku.ac.jp 32 32 199757806 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行） https://www.cints.tohoku.ac.jp/2026/06/27/%e5%88%a9%e7%94%a8%e7%b4%b0%e5%89%87%e7%ad%89%e3%81%ae%e6%94%b9%e6%ad%a3%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e6%94%af%e6%8f%b4%e5%86%85%e5%ae%b9%e3%81%ae%e6%9b%b4%e6%96%b0%e3%81%ab%e3%81%a4%e3%81%84%e3%81%a6/ Sat, 27 Jun 2026 08:59:59 +0000 https://www.cints.tohoku.ac.jp/?p=5209 ... 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）]]> ナノテク融合技術支援センターでは、2026年6月末付で利用細則および東北大学ARIMデータ登録約款を改正し、2026年7月1日より施行しました。

あわせて、ARIM半導体基盤プラットフォームにおける回路技術支援に関する支援内容を追加しました。半導体回路技術支援では、設計・試作に関わるソフトウェアの利用やファウンドリーとの連携等を含む支援を行います。

主な更新内容は以下のとおりです。

詳細は、リンク先の内容をご確認ください。

]]> 5209 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ https://www.cints.tohoku.ac.jp/2021/05/21/restart_coin/ Fri, 21 May 2021 08:01:47 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=420 ... 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ]]> 試作コインランドリが再稼働しました。

※機器利用される方へお願い※
西澤センターにおける新型コロナウイルス感染症防止対策をご確認、遵守いただき、感染症拡大防止にご協力をお願いいたします。 学外の方、県外に在住の方は、お手数ですが、ご利用の際こちらの「質問票」を毎回、事務室までご提出ください。学内の方は初回のみで結構です。 なお、緊急事態宣言の対象地域からの利用はご遠慮いただいております。解除後のご利用をお願いいたします。

]]> 420 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について https://www.cints.tohoku.ac.jp/2021/04/01/wakate/ Thu, 01 Apr 2021 08:15:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=422 ... 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について]]> ナノテク融合技術支援センターの装置を利用される東北大学若手研究者は、本学の支援制度をご利用になれます。
対象となるのは微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センターならびに金研分析コア分析電顕室）・微細加工分野（試作コインランドリ）の装置です。
本制度の適用を希望される方は課題申請フォームの備考欄にその旨を記載するとともに、課題採択後に該当する申請書に必要事項を記載し、事務局まで提出し てください。

若手支援申請はmyPageの課題申請中に入力してください。

微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センター）ご利用の方

本制度の適用を希望される方は課題申請フォームの備考欄にその旨を記載するとともに、課題採択後に該当する申請書に必要事項を記載し、事務局まで提出してください。

若手支援申請書（先端電子顕微鏡センター）ダウンロード

微細加工分野（試作コインランドリ）ご利用の方

課題申請前に必ず「μＳＩＣ支援室：micro-shien@grp.tohoku.ac.jp」まで、問い合わせをお願い致します。
また、下記の申請書に入力の上、課題申請時にファイル形式を変更せずに添付して頂くとともに、課題承認後にご提出頂く確認書の備考欄に、申請書内で指示しております内容を、必ず御記入下さい。
事前の問い合わせが無い場合や、申請書の添付忘れ、確認書への記載漏れがありますと、支援制度を適用することが出来ませんので、ご注意下さい。

若手支援申請はmyPageの課題申請中に入力してください。

若手支援申請書（試作コインランドリ）ダウンロード
]]> 422 ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。 https://www.cints.tohoku.ac.jp/2019/01/30/%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e8%9e%8d%e5%90%88%e7%a0%94%e7%a9%b6%e9%96%8b%e7%99%ba%e3%82%bb%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%bc-%e6%88%b8%e6%b4%a5%e5%81%a5%e5%a4%aa/ Tue, 29 Jan 2019 23:44:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=953 ... ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。]]> 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞し、「第18回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2019、場所：東京ビッグサイ ト）」において、平成31年1月30日、授賞式が行われました。 受賞対象の成果は、浜松ホトニクス株式会社 杉山厚志氏、大河原悟氏による「広帯 域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発」であり、高速で広帯域の波長掃引を 実現するための回転振動型MEMS回折格子の開発を、本学ナノテク融合技術支援セン ター微細加工プラットフォーム（実施場所：西澤潤一記念研究センター内　試作コイ ンランドリ）において支援しました。小型、高速、広帯域の波長掃引型レーザ光源が 初めて製品化されており、従来の大型で高価、高性能なフーリエ変換赤外分光計 （FT-IR）に代わる小型で高速な赤外分光計測の光源としての応用が期待されます。

（詳細URL）
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成30年度「秀でた利用成果」の詳細

◎ ナノテクジャパン　ニュース

◎国立研究開発法人物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター プレスリリース

◎波長掃引パルス量子カスケードレーザの詳細 浜松ホトニクス株式会社　製品・技術ハイライト

（問合せ先）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 支援室
電話 022-229-4113　 E-mail micro-shien*grp.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてください）

杉山氏と戸津准教授
杉山氏と戸津准教授授賞式

波長掃引パルス量子カスケードレーザの展示

 

]]> 953 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。 https://www.cints.tohoku.ac.jp/2015/01/30/%e6%96%87%e9%83%a8%e7%a7%91%e5%ad%a6%e7%9c%81%e3%83%8a%e3%83%8e%e3%83%86%e3%82%af%e3%83%8e%e3%83%ad%e3%82%b8%e3%83%bc%e3%83%97%e3%83%a9%e3%83%83%e3%83%88%e3%83%95%e3%82%a9%e3%83%bc%e3%83%a0%e5%b9%b3-2/ Thu, 29 Jan 2015 23:56:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=956 ... 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。]]> 　平成27年1月30日に東京ビッグサイトで開催された第13回ナノテクノロジー総合シンポジウム JAPAN NANO 2015において、CINTSスタッフの森山雅昭助手（マイクロシステム融合研究開発センター）が全国で唯一、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。
本賞は、秀でた技術を有し、本事業への多大な貢献が認められた実施担当者に対して授与されるものです。本年度に創設され森山助手が初めての受賞者となりました。受賞の対象となった技術は、MEMSなどの微小デバイスの製作に欠かすことのできない、「シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）における超精密形状制御」であり、この3年間で学内外の600件以上の利用を支援しています。
多くの皆様にご利用いただいた成果でもあり、感謝申し上げます。今後も皆様に喜んでもらえるよう、 森山助手をはじめスタッフ一同取り組みますので、どうぞよろしくお願いいたします。

【問合せ先】

●事業に関すること

東北大学ナノテク融合技術支援センター
電話 022-217-6037E-Mail　Cintsoffice@Rpip.Tohoku.Ac.Jp

●技術に関すること

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　Http://Www.Mu-Sic.Tohoku.Ac.Jp/
電話 022-229-4113

技術支援賞を受賞した森山雅昭助手
シリコン深掘りエッチング（Deep RIE）加工の例
副賞のナノテクの匠バッジ

　

]]> 956 MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」　 https://www.cints.tohoku.ac.jp/2013/05/30/mems%e3%83%81%e3%83%83%e3%83%97%e3%82%92%e7%b5%84%e3%81%bf%e8%be%bc%e3%82%93%e3%81%a0%e3%80%8c%e9%98%b2%e6%b2%ab%e4%bb%95%e6%a7%98%e3%81%ae1-4%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%83%81%e5%b0%8f%e5%9e%8b%e3%83%9e/ Thu, 30 May 2013 00:00:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=958 ... MEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」　]]> リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されました。　

この成果は、平成25年度ナノテクノロジープラットフォーム「秀でた利用６大成果」の最優秀賞を受賞しました。

リオン㈱が東北大学で試作したMEMSエレクトレットマイクロホンチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」が、NHK放送技術研究所の「技研公開2013」（2013年5月30日～6月2日）にて一般公開されました。

MEMSエレクトレットマイクロホンチップは次世代の高性能超小型マイクロホンの主部部材として期待されており、今回、文部科学省ナノテクノロジープラットフォームの支援を受けて東北大学の設備を用いて試作されたもので、東北大学がこれまで蓄積してきた微細加工技術が活用されています。

今回開発したMEMSエレクトレットマイクロホンは、従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンに比べ、熱や湿度に強い耐環境性能を備え、MEMSプロセスによる製造方法から高精度な設計が可能となり、低ノイズで周波数特性の揃った高性能マイクロホンを低コストで生産することが可能となります。放送用、補聴器用のほか、環境センシングや身体のモニタリングへの応用も期待されます。

●参考URL 　リオン㈱プレスリリース 　こちら　

●NHK放送技術研究所「技研公開」2013 展示項目32　NHK技術の活用と実用化開発の紹介 こちら

]]> 958 技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援 https://www.cints.tohoku.ac.jp/2010/01/01/%e6%8a%80%e8%a1%93%e7%9b%b8%e8%ab%87%e3%81%8b%e3%82%89%e8%a9%95%e4%be%a1%e5%ae%9f%e9%a8%93%e3%80%81%e5%bf%9c%e7%94%a8%e5%b1%95%e9%96%8b%e3%81%be%e3%81%a7%e7%b7%8f%e5%90%88%e7%9a%84%e3%81%ab%e6%94%af/ Fri, 01 Jan 2010 00:37:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=967 ... 技術相談から評価実験、応用展開まで総合的に支援]]>
実用化へ手助け

MEMSパッケージングのキー技術となりうる陽極接合できるLTCC基板の開発で、N社に対し 技術相談、評価実験から応用展開まで総合的に支援 を行いました。
この成果をもとに、１４社が参加する分野融合型大型研究プログラムへの参加に発展させ、実用化を達成しました。 この技術は既に多くの企業に注目頂いています。（微細加工分野）

]]> 967 マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!! https://www.cints.tohoku.ac.jp/2009/01/23/%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%82%a8%e3%83%83%e3%83%81%e3%83%b3%e3%82%b0%e5%8a%a0%e5%b7%a5%e3%81%ae%e3%83%97%e3%83%ac%e3%83%bc%e3%83%88%e3%82%92%e4%b9%97%e3%81%9b%e3%81%9f%e8%a6%b3%e6%b8%ac/ Fri, 23 Jan 2009 03:54:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=962 ... マイクロエッチング加工のプレートを乗せた観測衛星SPRITE-SATの打ち上げ成功!!]]> 子供たちの夢を宇宙へ

衛星最上部に載せられたプレートの子供達のメッセージは、当センター微細加工分野によるマイクロエッチング加工技術によって刻みこまれました。詳細は東北大学のSPRITE-SATの特集ページをご覧ください。（微細加工分野）

]]> 962 MEMS集中講義 in ふくおか https://www.cints.tohoku.ac.jp/2008/08/22/mems%e9%9b%86%e4%b8%ad%e8%ac%9b%e7%be%a9-in-%e3%81%b5%e3%81%8f%e3%81%8a%e3%81%8b/ Thu, 21 Aug 2008 15:00:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=523 ... MEMS集中講義 in ふくおか]]> MEMS集中講義 in ふくおか を開催致しました。

●講師：江刺正喜、羽根一博、西沢松彦、小野崇人、田中秀治、芳賀洋一、戸津健太郎、小切間正彦、竹井裕

●日時：２００８年８月２０日～２２日

●場所：福岡システムLSI総合開発センター　ＡＢ会議室（２Ｆ）　

●主催：東北大学大学院工学研究科マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、MEMSパークコンソーシアム、(財）福岡県産業・科学技術振興財団

プログラム

【8月20日(水)】
10:00～ マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチン グ)
13:30～ マイクロマシニング２ (堆積、接合、複合プロセス、パッケージング 他)
16:10～ 自動車・家電 関連
(終了後希望者に福岡システムLSI総合開発センター見学 )
【8月21日(木)】
9:30～　情報・通信 関連 (ディスプレイ、印刷、記録、光スイッチ他)
14:00～ ナノマシニングとナノ構造体
15:10～ MEMSビジネスモデルと課題
18:00～ 交流会 (MEMSカフェ)(参加費 3,000-5,000円)
【8月22日(金)】
9:30～ マイクロエネルギ源
11:40～ マイクロアクチュエータ
13:30～ 医療・バイオ 関連 (カテーテル、検体検査 他)
16:40～ 製造検査　関連 (電子線制御、分析、微量流体制他)

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