微細加工 | 東北大学ナノテク融合技術支援センター　Center for Integrated Nano Technology Support (CINTS) https://www.cints.tohoku.ac.jp 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）　ハブ機関 Fri, 21 Aug 2026 07:05:08 +0000 ja hourly 1 https://wordpress.org/?v=7.1 https://www.cints.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2021/11/cropped-CNTS-32x32.png 微細加工 | 東北大学ナノテク融合技術支援センター　Center for Integrated Nano Technology Support (CINTS) https://www.cints.tohoku.ac.jp 32 32 199757806 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行） https://www.cints.tohoku.ac.jp/2026/06/27/%e5%88%a9%e7%94%a8%e7%b4%b0%e5%89%87%e7%ad%89%e3%81%ae%e6%94%b9%e6%ad%a3%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e6%94%af%e6%8f%b4%e5%86%85%e5%ae%b9%e3%81%ae%e6%9b%b4%e6%96%b0%e3%81%ab%e3%81%a4%e3%81%84%e3%81%a6/ Sat, 27 Jun 2026 08:59:59 +0000 https://www.cints.tohoku.ac.jp/?p=5209 ... 利用細則等の改正および支援内容の更新について（2026年7月1日施行）]]> ナノテク融合技術支援センターでは、2026年6月末付で利用細則および東北大学ARIMデータ登録約款を改正し、2026年7月1日より施行しました。

あわせて、ARIM半導体基盤プラットフォームにおける回路技術支援に関する支援内容を追加しました。半導体回路技術支援では、設計・試作に関わるソフトウェアの利用やファウンドリーとの連携等を含む支援を行います。

主な更新内容は以下のとおりです。

詳細は、リンク先の内容をご確認ください。

]]> 5209 【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました https://www.cints.tohoku.ac.jp/2026/01/29/%e3%80%90%e5%8f%97%e8%b3%9e%e3%80%91%e6%96%87%e9%83%a8%e7%a7%91%e5%ad%a6%e7%9c%81arim%e4%ba%8b%e6%a5%ad%e3%81%ab%e3%81%8a%e3%81%84%e3%81%a6%e3%80%81%e3%80%8c%e4%bb%a4%e5%92%8c7%e5%b9%b4%e5%ba%a6/ Thu, 29 Jan 2026 01:16:05 +0000 https://www.cints.tohoku.ac.jp/?p=2952 ... 【受賞】文部科学省ARIM事業において、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞しました]]> 2026年1月28日、東京ビッグサイトで開催された nano tech 2026（第25回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議） において、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM: Advanced Research Infrastructure for Material and Nanotechnology）令和7年度「秀でた利用成果」表彰式が行われ、東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センターの矢代航教授、梁 暁宇助教、および、上田亮介講師の御利用課題「サブミリ秒X線トモグラフィのためのX線光学素子の開発」が、「令和7年度 秀でた利用成果 優秀賞」を受賞されました。

本課題において、ナノテク融合技術支援センター：微細加工（試作コインラインドリ）は、フォトリソグラフィ、および、Si Deep-RIE加工を支援致しました。

■令和7年度「秀でた利用成果」優秀賞受賞課題はこちら
https://nanonet.go.jp/page/page000998.html

]]> 2952 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ https://www.cints.tohoku.ac.jp/2021/05/21/restart_coin/ Fri, 21 May 2021 08:01:47 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=420 ... 2020/5/21 微細加工分野：試作コインランドリ再稼働のお知らせ]]> 試作コインランドリが再稼働しました。

※機器利用される方へお願い※
西澤センターにおける新型コロナウイルス感染症防止対策をご確認、遵守いただき、感染症拡大防止にご協力をお願いいたします。 学外の方、県外に在住の方は、お手数ですが、ご利用の際こちらの「質問票」を毎回、事務室までご提出ください。学内の方は初回のみで結構です。 なお、緊急事態宣言の対象地域からの利用はご遠慮いただいております。解除後のご利用をお願いいたします。

]]> 420 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について https://www.cints.tohoku.ac.jp/2021/04/01/wakate/ Thu, 01 Apr 2021 08:15:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=422 ... 東北大学若手研究者による共用設備利用支援制度について]]> ナノテク融合技術支援センターの装置を利用される東北大学若手研究者は、本学の支援制度をご利用になれます。
対象となるのは微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センターならびに金研分析コア分析電顕室）・微細加工分野（試作コインランドリ）の装置です。
本制度の適用を希望される方は課題申請フォームの備考欄にその旨を記載するとともに、課題採択後に該当する申請書に必要事項を記載し、事務局まで提出し てください。

若手支援申請はmyPageの課題申請中に入力してください。

微細構造解析分野（先端電子顕微鏡センター）ご利用の方

本制度の適用を希望される方は課題申請フォームの備考欄にその旨を記載するとともに、課題採択後に該当する申請書に必要事項を記載し、事務局まで提出してください。

若手支援申請書（先端電子顕微鏡センター）ダウンロード

微細加工分野（試作コインランドリ）ご利用の方

課題申請前に必ず「μＳＩＣ支援室：micro-shien@grp.tohoku.ac.jp」まで、問い合わせをお願い致します。
また、下記の申請書に入力の上、課題申請時にファイル形式を変更せずに添付して頂くとともに、課題承認後にご提出頂く確認書の備考欄に、申請書内で指示しております内容を、必ず御記入下さい。
事前の問い合わせが無い場合や、申請書の添付忘れ、確認書への記載漏れがありますと、支援制度を適用することが出来ませんので、ご注意下さい。

若手支援申請はmyPageの課題申請中に入力してください。

若手支援申請書（試作コインランドリ）ダウンロード
]]> 422 イベント情報(R2) https://www.cints.tohoku.ac.jp/2021/03/31/%e3%82%a4%e3%83%99%e3%83%b3%e3%83%88%e6%83%85%e5%a0%b1r2/ Wed, 31 Mar 2021 11:42:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=617
開催日イベント名場所解析合成加工
8/21微細構造解析プラットフォームワークショップ2020Online Workshop
]]> 617 イベント情報（H31/R1） https://www.cints.tohoku.ac.jp/2020/03/31/%e3%82%a4%e3%83%99%e3%83%b3%e3%83%88%e6%83%85%e5%a0%b1%ef%bc%88h31-r1%ef%bc%89/ Tue, 31 Mar 2020 11:40:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=615 ... イベント情報（H31/R1）]]>
開催日イベント名場所解析合成加工
1/17東北大学地域連携イノベーション展2020仙台国際センター
12/102019年度集束イオンビーム加工装置セミナー金属材料研究所
4 号館 3 階セミナー室		  
9/202019年微細構造解析プラットフォームシンポジウム東北大学金属材料研究所
講堂		 

]]> 615 イベント情報(H30) https://www.cints.tohoku.ac.jp/2019/03/31/%e3%82%a4%e3%83%99%e3%83%b3%e3%83%88%e6%83%85%e5%a0%b1h30/ Sun, 31 Mar 2019 11:38:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=613 ... イベント情報(H30)]]>
開催日イベント名場所解析合成加工
1/22産学官金連携フェア2019みやぎ仙台国際センター 
11/272018年度集束イオンビーム加工装置セミナー東北大学金属材料研究所　2号館8階セミナー室  
11/10顕微鏡体験教室東北大学金属材料研究所　講堂  
7/26-27金属材料研究所夏期講習会東北大学金属材料研究所  
7/13800MHz NMR分光分析・ICP発光分析＆総合技術部の研究支援紹介セミナー東北大学理学研究科化学専攻第4講義室（H-23、化学系講義棟） 

]]> 613 ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。 https://www.cints.tohoku.ac.jp/2019/01/30/%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e8%9e%8d%e5%90%88%e7%a0%94%e7%a9%b6%e9%96%8b%e7%99%ba%e3%82%bb%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%bc-%e6%88%b8%e6%b4%a5%e5%81%a5%e5%a4%aa/ Tue, 29 Jan 2019 23:44:00 +0000 https://www2.cints.tohoku.ac.jp/?p=953 ... ナノテクノロジープラットフォーム事業平成 30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。]]> 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において、本学マイクロシステム 融合研究開発センター 戸津健太郎准教授、森山雅昭助手、江刺正喜教授が開発を支 援した成果が、同事業の平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞し、「第18回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2019、場所：東京ビッグサイ ト）」において、平成31年1月30日、授賞式が行われました。 受賞対象の成果は、浜松ホトニクス株式会社 杉山厚志氏、大河原悟氏による「広帯 域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発」であり、高速で広帯域の波長掃引を 実現するための回転振動型MEMS回折格子の開発を、本学ナノテク融合技術支援セン ター微細加工プラットフォーム（実施場所：西澤潤一記念研究センター内　試作コイ ンランドリ）において支援しました。小型、高速、広帯域の波長掃引型レーザ光源が 初めて製品化されており、従来の大型で高価、高性能なフーリエ変換赤外分光計 （FT-IR）に代わる小型で高速な赤外分光計測の光源としての応用が期待されます。

（詳細URL）
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成30年度「秀でた利用成果」の詳細

◎ ナノテクジャパン　ニュース

◎国立研究開発法人物質・材料研究機構 ナノテクノロジープラットフォームセンター プレスリリース

◎波長掃引パルス量子カスケードレーザの詳細 浜松ホトニクス株式会社　製品・技術ハイライト

（問合せ先）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 支援室
電話 022-229-4113　 E-mail micro-shien*grp.tohoku.ac.jp（*を@に置き換えてください）

杉山氏と戸津准教授
杉山氏と戸津准教授授賞式

波長掃引パルス量子カスケードレーザの展示

 

]]> 953 イベント情報（H29） https://www.cints.tohoku.ac.jp/2018/04/30/%e3%82%a4%e3%83%99%e3%83%b3%e3%83%88%e6%83%85%e5%a0%b1%ef%bc%88h29%ef%bc%89/ Mon, 30 Apr 2018 11:37:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=611 ... イベント情報（H29）]]>
開催日イベント名場所解析合成加工
11/11顕微鏡体験教室東北大学金属材料研究所
講堂		  
11/7集束イオンビーム加工装置セミナー東北大学金属材料研究所２号館５階セミナー室  
7/7超高磁場（800MHz）・高分解能核磁気共鳴（NMR）と電子スピン共鳴（ESR）分光分析セミナー東北大学理学研究科合同C棟2階、C201、青葉サイエンスホール  
]]> 611 2017年度集束イオンビーム加工装置セミナー https://www.cints.tohoku.ac.jp/2017/11/07/2017%e5%b9%b4%e5%ba%a6%e9%9b%86%e6%9d%9f%e3%82%a4%e3%82%aa%e3%83%b3%e3%83%93%e3%83%bc%e3%83%a0%e5%8a%a0%e5%b7%a5%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%82%bb%e3%83%9f%e3%83%8a%e3%83%bc/ Tue, 07 Nov 2017 08:58:00 +0000 https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/dev/cints/?p=817 ... 2017年度集束イオンビーム加工装置セミナー]]> 2017年度集束イオンビーム加工装置セミナーを開催しました。

文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として，201７年度集束イオンビーム加工装置セミナーを開催しました。FIBの歴史から原理そして応用まで含めた視点での装置、最新の状況について日本エフイーアイ完山氏に講演いただきました。微細構造解析プラットフォームの保有する最新の高度なデュアルビーム型FIB装置（日本エフイーアイ ）は主に透過型電子顕微鏡試料の作成を中心に利用されております。今回集束イオンビーム装置を活用してナノマテリアルやナノデバイスなどの研究をしてみたいと考える研究者・技術者に向け（例えばFIB-TEM 試料作成、連続断面加工観察による立体構造の構築、微細加工構造作成）産官学，様々な研究開発分野より多くの皆様にご参加いただきました。

●日時：平成29年11月7日 10:00～15:00

●会場： 東北大学金属材料研究所2号館５階セミナー室

●主催：東北大学ナノテク融合技術支援センター

10:00～1０:30 「FEI製品群の紹介と特長」
渡邉 孝（Thermo Fisher Scientific）
1０:30～12:00 「FIBの基礎と応用」基礎
完山 正林（Thermo Fisher Scientific）
(12:00～13:00 休憩)
１３:０0～1５:０0 「FIBの基礎と応用」応用
完山 正林（Thermo Fisher Scientific）

●チラシはこちら

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