●日時：２００８年５月１３日（火）　１３：００～１６：００

●場所：東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センタ
●講演会：「医療、診断システムとMEMS技術」
●主催：メムスパークコンソーシアム
●共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター

概要：医療、診断システムにメムス技術がどのように使えるか？今回は、血液ではなく、汗を 検体として血糖値を測るシステム、神経の中を流れる情報を電気的に観測するシステムを例にメムス技術の活用、展開を議論する。

【プログラム】

開会の挨拶　江刺　正喜
１３：００～「Non-Invasive Glucose Monitoring Using Sweat 」 Russell O. Potts；　　　　　　　VivoMedical, Inc. Chief Technical Officer & Board Member
１３：４５～ 「難治性循環器疾患の克服を目指した、超小型神経センサー兼刺激治療装置の開発研究」 　　　　　　　神谷　厚範；国立循環器病センター研究所循環動態機能部
１４：３０～「バイオ応用を目指したメムス技術」 柳沢　寛；㈱メムス・コア
１５：１５～ 総合討論　江刺　正喜
閉会の挨拶　竹井　裕；メムスパークコンソーシアム事務局長


参加人数は46名（講師込） 参加団体数　23団体（内、東北大の参加人数12名） 参加見込人数は当初30名～40名（内部も含む）を超え、活発な議論が交わされ、大成功に終えることができました。

●日時 ：平成21年4月1日　13:00-17:00
●場所：東北大学マイクロナノマシニング研究教育センター
●主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点，MEMSパークコンソーシアム
●共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター
●講演者：江刺正喜、戸津健太郎（東北大学）、Philip Peters（IMEC）、Jean-Christophe ELOY（Yole Developpement）他

プログラム

13:00～挨拶
13:05～東北大学を拠点に広がる研究開発ネットワークと新しい研究開発・事業化モデル」
　　　　　江刺 正喜（東北大学）
13:15～IMEC’s Strategy And Activity On MEMS」　Philip Pieters（IMEC)1
4:15～「MEMS Markets Update And Long Term Trends Of The Industry」
　　　　Jean-Christophe Eloy（Yole Developpement） 　
15:30～仙台地域の強みを生かす東北研究所」 　　大高 剛一（リコー）
16:10～ステルスダイシング技術と仙台ステルスダイシングラボへの招待」内山直己（浜松ホトニクス）
16:50～「仙台ネットワークを活用した新しいMEMS技術：ニッコー株式会社の陽極接合できる
　　　　　LTCC基板の例」田中 秀治（東北大学）
17:10～「仙台におけるMEMS人材育成プログラム：個別にデバイス試作を行う実践形式」
　　　　　戸津 健太郎（東北大学）

つくば地区において，MEMS集中講義・第18回MEMSPCカフェを開催しました。 MEMS集中講義は，MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションへの応用展開まで，様々な角度からMEMS技術を収集できる絶好の機会となりました。 また，8月6日（金）講義終了後，MEMSパークコンソーシアム主催により，産総研の進めるグリーンイノベーションの紹介及び集中講義参加者の相互交流・連携構築を進めることを目的として，第18回MEMSPCカフェin つくば（交流会付き）を併催し，皆様の相互交流・連携構築の場としてご活用頂きました。

●日時：平成２２年８月５日-７日
●場所：産業技術総合研究所つくばセンター　つくば中央共用講堂 （茨城県つくば市東1-1-1）
●主催:東北大学マイクロシステム融合研究開発センター，ＭＥＭＳパークコンソーシアム，産総研集積マイクロシステム研究センター
●共催:東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター，東北大学ナノテク支援センター

プログラム

MEMS集中講義　平成２２年８月５日（木）・６日（金）・７日（土）
見学会（産総研東）　平成２２年８月５日（木） １８：００～１９：００（先着50名）
MEMSPCカフェ　平成２２年８月６日（金） １８：００ ～ ２０：００

講師:江刺正喜，羽根一博，西澤松彦，小野崇人，田中秀治，芳賀洋一，戸津健太郎，橋本研也，越田信義，前田龍太郎，高橋正春，高木秀樹，小林健，岡田浩尚

詳細はプログラムでご確認ください。

●日時：平成２６年７月１１日 １３：３０～１７：００
●集合場所：東北大学金属材料研究所３号館６階セミナー室
●見学場所：先端電子顕微鏡センターをはじめとする上記共催組織の各実験室
●主催：東北大学 ナノテク融合技術支援センター
●共催：研究教育基盤技術センター 先端電子顕微鏡センター/ 金属材料研究所 新素材共同研究開発センター/ 金属材料研究所 超低損失ナノ結晶軟磁性材料研究開発センター/ 産学連携先端材料研究開発センター●趣旨：ナノテク融合技術支援センターは、東北大学の有するナノテクノロジーに関する最先端機器を国公立学術・研究機関や民間企業の研究者に開放することを目的に、平成１９年４月に本学の産学連携推進本部に設置された共用設備運用組織です。現在、微細加工、分子・物質合成、微細構造解析という三つの分野が垣根を越えて協力しながら、開学以来の実学尊重・門戸開放という精神に則り、ナノテクノロジー発展のお手伝いをさせていただいております。今回の見学会では微細構造解析グループの世話部局である金属材料研究所を中心として設置してある解析機器をご覧になっていただき、ナノテクセンターを含めたいくつかの解析装置共用の枠組みを紹介させていただければと考えております。

（プログラム）

13：30～14：00 ナノテク融合技術支援センター事業概要説明
14：00～15：30 装置見学

【透過電子顕微鏡】：JEOL-ARM-200F（＊）,FEI Titan 80-300, 集束イオンビーム加工装置：FEI-Quanta 3D, FEI-Versa 3D（＊）, FEI-Helios, 走査電子顕微鏡：Hitachi SU8000, Hitachi S5500, JEOL
【一般解析機器】：JEOL JXA-8621MX, JXA-8530F、他
（見学装置には、ナノテクセンターの枠組みで共用化されていないものも含みます）
（（＊）：ナノテクノロジープラットホーム事業による導入装置）

15：40～16：30 意見交換：装置共用化に向けて – 課題と展望 –

ナノテク融合技術支援センター3分野合同見学会を開催しました。KCみやぎ推進ネットワークのご協力をもとに、当日は16名の方々にご参加いただきました。ご参加頂いた皆様、ありがとうございました。

●日時：平成26年10月7日（火） 13:00～17：00

●主催：東北大学 ナノテク融合技術支援センター

●実施部局：金属材料研究所 不定比化合物材料学研究部門/新素材共同研究開発センター/ 研究教育基盤技術センター 先端電子顕微鏡センター・
原子分子材料科学高等研究機構・ マイクロシステム融合研究開発センター試作コインランドリ

●集合場所：東北大学金属材料研究所国際教育研究棟２階 第１セミナー室

（プログラム）

13：00～13：30 ナノテク融合技術支援センター事業概要説明（対応者：今野）
13：30～14：20 微細構造解析分野見学
14：20～15：00 分子・物質合成分野見学
15：00 （片平出発）
15：20～16：00 微細加工分野見学
16：00～17：00 意見交換：装置共用化に向けて- 課題と展望 –
　　　　　　　　（試作コインランドリ２階ショールーム） （対応者：今野・浅尾・戸津）
17：00 解散

文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として，201７年度集束イオンビーム加工装置セミナーを開催しました。FIBの歴史から原理そして応用まで含めた視点での装置、最新の状況について日本エフイーアイ完山氏に講演いただきました。微細構造解析プラットフォームの保有する最新の高度なデュアルビーム型FIB装置（日本エフイーアイ ）は主に透過型電子顕微鏡試料の作成を中心に利用されております。今回集束イオンビーム装置を活用してナノマテリアルやナノデバイスなどの研究をしてみたいと考える研究者・技術者に向け（例えばFIB-TEM 試料作成、連続断面加工観察による立体構造の構築、微細加工構造作成）産官学，様々な研究開発分野より多くの皆様にご参加いただきました。

●日時：平成29年11月7日 10:00～15:00

●会場： 東北大学金属材料研究所2号館５階セミナー室

●主催：東北大学ナノテク融合技術支援センター

10:00～1０:30 「FEI製品群の紹介と特長」
渡邉 孝（Thermo Fisher Scientific）
1０:30～12:00 「FIBの基礎と応用」基礎
完山 正林（Thermo Fisher Scientific）
(12:00～13:00 休憩)
１３:０0～1５:０0 「FIBの基礎と応用」応用
完山 正林（Thermo Fisher Scientific）

●チラシはこちら

超微細加工分野の塚本貴城氏（学生）が平成２２年度米国NNIN（National Nanotechnology Infrastructure Network）施設利用の夏期研修プログラムに参加しました。　

●プログラム趣旨：本米国NNIN施設利用の夏期研修プログラム (International Research Experience in Nanotechnology NNIN and NIMS)は、日米科学技術協力協定に基づいたナノテクノロジー分野での文部科学省(MEXT)と米国科学財団（NSF）との協力の一環として、学部生及び大学院生を相互に派遣し、ナノテクノロジー研究分野における国際的な人材とネットワークを育成することを目的として平成２０年度より行う。 本研修プログラムは、選ばれた日米両国のナノテクノロジー分野の学生を共に相互に相手国のナノテクノロジー関連研究機関に派遣し、派遣された機関の施設を利用する事を通して研究の視野と交流を広めることで、国際的な研究者ネットワークを形成するとともに共に、国際的なリーダーシップを発揮できる人材の育成を目指す。

●派遣期間:平成22年6月7日～平成22年8月14日

報告書

募集要項

つくばにおいて、「人材育成のためのMEMS集中コース」（MEMS集中講義）を開催致しました。MEMS集中コースは、MEMS技術の基礎的知識から各分野のアプリケーションへの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できる絶好の機会となりました。 　また、8月8日（木）18:15から、MEMSパークコンソーシアム主催により、参加者の相互交流・連携構築を目的として、交流会を開催致しました。皆様の相互交流・連携構築の場としてご活用頂けましたら幸いです。更に、8月9日（金）17:15から、筑波大学 微細加工プラットフォームの見学会を開催致しました。多数の皆様のご参加ありがとうございました。

●日時：【MEMS集中コース】　平成25年8月7日（水）・8日（木）・9日（金）
【交流会】　平成25年8月8日（木）18:15～20:15
【見学会】 平成25年8月9日（金）17:15～18:00
●会場：MEMS集中コース　筑波大学 春日エリア　春日講堂
●交流会　オークラフロンティアホテルつくば　カフェテラス「カメリア」
※春日エリアの食堂の収容力が限られているため、希望者には弁当（有料、予約制）をご用意いたします。
●主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、産総研集積マイクロシステム研究センター、MEMSパークコンソーシアム
●共催：東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク支援センター、筑波大学大学院 数理物質科学研究科
●参加費：MEMS集中コース 無料（講義資料及び講義データ（DVD-R）を無料配布いたします）　交流会 MEMSPC会員：一口につき1名無料　MEMSPC非会員：一人4,000円
●講師：江刺正喜、高木秀樹、羽根一博、亀井利浩、末永智一、鈴木博章、芳賀洋一、前田龍太郎、戸津健太郎、小野崇人、田中秀治、門田道雄、小林健（敬称略）

●日時:8月9日（火）・10日（水）・11日（木） 9:30～18:00

●場所:MEMS集中講義　立命館大学朱雀キャンパス本館5階大講義室
MEMSPCカフェ　立命館大学朱雀キャンパス本館7階たわわ 　　　
見学会（立命館大学）　立命館大学びわこ・草津キャンパステクノコンプレクス 　　　
見学会（京都大学）　京都大学 次世代低炭素ナノデバイス創製ハブ拠点

●主催:東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター、産総研集積マイクロシステム研究センター
共催:東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク支援センター

●定員:３０名（先着順・事前申込制）

●参加費：無料（交流会参加費はMEMSPC会員以外、3,000円） 冊子とDVDおよび付録で(1) 「近代技術史学」の冊子を無料配布 申込不要直接参加可、なおMEMSPCカフェ、見学会へのご参加、昼食弁当を希望される方は事務局（Memspc＠Mems.Mech.Tohoku.Ac.Jp）にお申込みください。 なお、参加できない方で冊子とDVDを希望の方には郵送いたしますので、下記までご連絡ください。

●問合せ先：東北大学　江刺・田中研究室　中野裕　Tel.022-795-6934, Fax 022-795-6935、 　E-Mail Nakanoyu(＠)Mems.Mech.Tohoku.Ac.Jp

プログラム

【8月9日（火）】 　
10:00-12:00 マイクロマシニング１（概論、フォトファブリケーション、エッチング）[江刺] 　
13:00-15:20 マイクロマシニング２（堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他）[江刺] 　
15:30-17:20 自動車・家電関連（圧力、加速度センサ・ジャイロ他）[江刺] 　
17:20-17:50 試作コインランドリ[戸津]

【8月10日（水）】
9:30-10:30 接合実装[高木] 10:30-11:30 圧電MEMSデバイス[小林]
11:30-12:30 マイクロエネルギ源[田中]
13:30-15:20 RF関連MEMS（MEMSスイッチ、RFフィルタ）[田中、鈴木]
15:30-17:00 光関連MEMS（赤外線イメージャ）[木股]
17:00-17:30 産総研UMEMSME（集積マイクロシステム研究センター）とMEMSの課題[前田]
17:30-18:00 IMECにおける集積化MEMS技術の開発 [田中]
18:10-20:00 MEMSPCカフェ
18:10-18:40 講演「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」[木股]
18:40-20:00 交流会

【8月11日（木）】
9:30-11:00 医療（カテーテル 他）[芳賀]
11:10-12:30 バイオ関連[西澤]
13:30-15:00 ナノマシニングとナノ構造体[小野]
15:10-16:10 マイクロアクチュエータとMEMSディスプレイ・光スキャナ[江刺]
16:10-18:00 製造検査関連（電子線制御、分析、微量流体制他）[江刺]

本スクールでは、電子線描画リソグラフィ技術およびフォトリソグラフィに関する講義4コマを行いました。また希望者に対して、電子線描画リソグラフィに関する実習を実施しました。

●日時：平成21年5月26日ー5月29日
●場所：東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター　3階セミナ―室
●主催：東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター
　　　　東北大学ナノテク融合技術支援センター

【趣旨】本スクールは、文部科学省ナノテクノロジー・ネットワーク事業の一環として、産学官の研究者に電子線描画リソグラフィ技術を中心とした超微細加工に関する装置やその原理を学習する場と、電子線描画リソグラフィ技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける人材育成に貢献することを目的とする。

A) 講義： 5月26日東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター　3階セミナ―室において、リソグラフィの専門家をお招きし電子線描画リソグラフィ等についての最近の動向を講義頂くと共に、東工大関係者が電子線描画リソグラフィに関して実践的な講義を行いました。 参加人数は40人以上にもなり盛会に終えることができました。

B) 実習： 5月27日から29日の3日間にわたり、高速トランジスタでのTゲート作成に用いられる、三層レジスト形成、露光というリソグラフィ工程の実習を行いました。 希望者が多く、予定より三名多い12名の方に参加頂き、リソグラフィ技術に対する皆様の関心の高さを知る良い機会となりました。